Предназначен для метрологии полупроводниковых приборов
- 1100 - 3700 кг
- 11000 - 38000 кг
- 15000 - 50000 кг
- 2100 - 7000 кг
- 3600 - 12000 кг
- 500 - 1700 кг
- 5000 - 17000 кг
- по вертикали: 117600 Н, по горизонтали:4410 Н
- 450 х 450 х 120 мм
Официальный дистрибьютор DAEIL SYSTEMS в РФ и странах Таможенного Союза АО «ЛЛС» предлагает наиболее выгодные условия поставки продукции DAEIL SYSTEMS, полную техническую поддержку, а также поставку образцов.
Серия DVIA-P - это передовые активные пневматические системы виброизоляции, использующие пневматические клапанные сервоприводы для контроля низкочастотных вибраций и стабилизации полупроводникового метрологического оборудования со сверхточными моторизованными линейными этапами. Серия DVIA-P включает в себя чрезвычайно чувствительные датчики и мощные пневматические сервоприводы, создающие огромную силу для противодействия входящим вибрациям от пола здания и обеспечивающие сверхбыстрое время установления для получения изображений с наноразрешением без каких-либо помех.
Ключевые особенности:
- 40 - 70% виброизоляции при 2 Гц по всем 6 степеням свободы
- разработан для метрологии полупроводниковых приборов
- точность позиционирования 10 мкм
- мощные пневматические приводы для поддержки устройств с движущейся платформой
- интеллектуальная система управления
- настройка на месте для достижения желаемого качества
- алгоритм управления с обратной и прямой связью
- активная виброизоляция по всем шести степеням свободы
Парт-номер | DVIA-P1000 | DVIA-P2200 | DVIA-P4000 | DVIA-P7000 | DVIA-P10000 | DVIA-P20000 | DVIA-P30000 |
Габариты изолятора | 240 x 240 x 110 мм | 350 x 350 x 110 мм | 420 x 420 x 110 мм | 450 x 450 x 120 мм | 450 x 450 x 120 мм | 645 x 600 x 284 мм | 735 x 700 x 284 мм |
Грузоподъемность | 500 - 1700 кг | 1100 - 3700 кг | 2100 - 7000 кг | 3600 - 12000 кг | 5000 - 17000 кг | 11000 - 38000 кг | 15000 - 50000 кг |
Максимальное усилие привода | по вертикали: 25000 Н, по горизонтали: 300 Н | по вертикали: 36260 Н, по горизонтали: 588 Н | по вертикали: 68600 Н, по горизонтали: 2646 Н | по вертикали: 117600 Н, по горизонтали: 4410 Н | по вертикали: 167580 Н, по горизонтали: 8330 Н | по вертикали: 372400 Н, по горизонтали: 11760 Н | по вертикали: 490000 Н, по горизонтали: 11760 Н |
Привод
|
пневматический клапанный сервопривод |
Степени свободы
|
6 градусов |
Диапазон активной изоляции
|
0,5 - 150 Гц |
Виброизоляция при 2 Гц
|
40 - 70% |
Виброизоляция при ≥4 Гц
|
90% |
Входное напряжение
|
однофазный переменный ток 100 - 240 В |
Потребляемая мощность
|
100 Вт |
Диапазон рабочих температур
|
5 - 50 °C |
Влажность
|
20 - 90% |
Требуемое давление воздуха
|
≥ 0,5 МПа (≥ 5 бар) |
Требуемая скорость CDA
|
250 нл/мин |
- CD-SEM
- Восстановление фотомаски
- Качественная проверка фотомасок
- Автоматизированный АСМ комплекс
- Выравниватель масок
- Рентгеновская метрология
- Рентгеновский контроль дефектов
- Система электронно-лучевой литографии
- Бесконтактная 3D-метрология поверхности
- Метрология толщины тонкого слоя